一种等离子刻蚀设备的刻蚀终点检测装置与方法

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标题	专利、报告等一种等离子刻蚀设备的刻蚀终点检测装置与方法
网址	求助人暂未提供
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其它	专利类型：发明专利申请/专利号： CN200710062687.1 申请日期： 2007-01-12 公开/公告号： CN101221891 公开/公告日： 2008-07-16 主分类号： H01L21/00(2006.01)I 分类号： H01L21/00(2006.01)IH01L21/66(2006.01)IH01L21/00H01L21/66 申请/专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
求助人	七秒在 2023-05-29 16:14:46 发布自湖南，悬赏 10 积分
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Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

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