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 CMOS compatible MEMS pyroelectric infrared detectors: from AlN to ScAlN CMOS兼容MEMS热释电红外探测器：从AlN到ScAlN
相关领域
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光电子学
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期刊： 作者：Doris K. T. Ng; Chong Pei Ho; Tantan Zhang; Xu Liang; Li Yan Siow; et al 出版日期：2021-03-05 |
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