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标题
CMOS compatible MEMS pyroelectric infrared detectors: from AlN to ScAlN
CMOS兼容MEMS热释电红外探测器:从AlN到ScAlN
相关领域
热电性 光电子学 材料科学 微电子机械系统 探测器 吸收(声学) CMOS芯片 红外线的 光学 物理 电介质 铁电性 复合材料
网址
DOI
10.1117/12.2582707 doi
其它 期刊:
作者:Doris K. T. Ng; Chong Pei Ho; Tantan Zhang; Xu Liang; Li Yan Siow; et al
出版日期:2021-03-05
求助人
未央 在 2024-03-04 15:08:37 发布自北京,悬赏 20 积分
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