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标题
Development of new photoresist stripping agent
新型光刻胶剥离剂的研制
相关领域
剥离(纤维) 光刻胶 材料科学 蚀刻(微加工) 纳米技术 平版印刷术 光电子学 复合材料 图层(电子)
网址
DOI
10.1109/impact.2014.7048392 doi
其它 期刊:
作者:C.W. Chu; Te-Jung Hsu; Tzu‐Hsing Chiang; Yung-Ming Wang; Shiu-Chin Wang; et al
出版日期:2014-10-01
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