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 Wurtzite structure ScxAl1-xN solid solution films grown by reactive magnetron sputter epitaxy: Structural characterization and first-principles calculations 反应磁控溅射外延生长纤锌矿结构ScxAl1-xN固溶体薄膜的结构表征和第一性原理计算
相关领域
纤锌矿晶体结构
材料科学
纳米晶材料
溅射沉积
晶格常数
外延
晶体结构
结晶学
薄膜
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