Femtosecond laser ablation and deposition of metal films on transparent substrates with applications in photomask repair

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标题	Femtosecond laser ablation and deposition of metal films on transparent substrates with applications in photomask repair 飞秒激光在透明衬底上烧蚀和沉积金属膜及其在光掩模修复中的应用相关领域光掩模飞秒材料科学激光器光电子学平版印刷术光学激光烧蚀不透明度烧蚀光刻纳米技术抵抗图层（电子）航空航天工程工程类物理
网址	https://doi.org/10.1117/12.601008
DOI	10.1117/12.601008 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Richard Haight; Alfred Wagner; P. Longo; Daeyoung Lim 出版日期：2005-03-21
求助人	xiaoyaoswim 在 2025-02-09 15:56:16 发布自四川，悬赏 20 积分
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