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 Study of RLS trade-off mitigation utilizing an organotin-containing chemically amplified resist for high sensitivity patterning 利用含有机锡化学放大抗蚀剂进行高灵敏度构图的RLS权衡研究
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期刊： 作者：Satoshi Enomoto; Kohei Machida; Michiya Naito; Takahiro Kozawa 出版日期：2022-12-01 |
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