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[求助补充材料] Impact of Mechanical Stress and Nitrogen Doping on the Defect Distribution in the Initial Stage of the 4H-SiC PVT Growth Process
机械应力和氮掺杂对4H-SiC PVT生长初期缺陷分布的影响
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期刊:Materials 作者:Johannes Steiner; Peter J. Wellmann 出版日期:2022-03-03 |
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