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 Diaphragms simulation, fabrication, and testing of a high temperature fiber optic F-P accelerometer based on MEMS 基于MEMS的高温光纤F-P加速度计的膜片仿真、制作与测试
相关领域
加速度计
材料科学
微电子机械系统
灵敏度（控制系统）
悬臂梁
光纤
重复性
振动
光学
线性
振膜（声学）
温度测量
声学
光电子学
电气工程
电子工程
计算机科学
物理
工程类
复合材料
操作系统
量子力学
化学
色谱法
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| 其它 | Mariano Mahissi, Weiming Cai, Xianmin Zhang, Xinglin Tong, Cui Zhang, Xinli Ma, and Michel Dossou |
| 求助人 | |
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