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In situ absolute surface metrology for a 600 mm aperture interferometer
600 mm孔径干涉仪的现场绝对表面计量
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期刊:Optics and Lasers in Engineering 作者:You Zhou; Shijie Liu; Qi Lu; Yunbo Bai; Fenxiang Wu; et al 出版日期:2020-06-01 |
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