标题 |
Defect Free Grinding of Silicon Nitride at High Material Removal Rate
高材料去除率下氮化硅的无缺陷磨削
相关领域
研磨
氮化硅
材料科学
氮化物
硅
冶金
复合材料
图层(电子)
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其它 |
期刊: 作者:Craig Seidelson; K. Manigandan 出版日期:2023-01-01 |
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