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 Topography reconstruction of high aspect ratio silicon trench array via near-infrared coherence scanning interferometry 基于近红外相干扫描干涉法的高深宽比硅沟槽阵列形貌重建
相关领域
光学
干涉测量
连贯性（哲学赌博策略）
沟槽
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硅
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期刊：Optics Express 作者：Qun Yuan; Xiao Huo; Jiale Zhang; Xiaoxin Fan; Zhiyi Xu; et al 出版日期：2024-06-04 |
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