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标题
A sensing material-free and simple readout MEMS sensor for detecting Helium
一种用于检测氦的无传感材料且简单读出的MEMS传感器
相关领域
微电子机械系统 氦 材料科学 电容 泄漏（经济） 电介质 光电子学 电气工程 核工程 工程类 化学 有机化学 电极 物理化学 经济 宏观经济学
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6439/adaf2e
AI链接 osti.govdoi.org
DOI
10.1088/1361-6439/adaf2e doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Sulaiman Mohaidat; Mohammad Okour; Fadi Alsaleem
出版日期：2025-01-28
求助人
cuijiawen 在 2025-03-05 10:18:19 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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