Image based overlay measurement improvements of 28nm FD-SOI CMOS front-end critical steps

已完结

文献求助详情

标题	Image based overlay measurement improvements of 28nm FD-SOI CMOS front-end critical steps 基于图像的28nm FD-SOI CMOS前端关键步骤的叠加测量改进相关领域覆盖绝缘体上的硅前端和后端 CMOS芯片计算机科学电子工程前线（军事）光电子学工程类材料科学硅机械工程操作系统程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1117/12.2257883
DOI	10.1117/12.2257883 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Florent Dettoni; T. Shapoval; R. Bouyssou; Tal Itzkovich; Ronny Haupt; et al 出版日期：2017-03-28
求助人	君君在 2025-03-19 23:18:51 发布自广东，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

有了科研通，下载文献真轻松！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 11128完成签到，获得积分10

2秒前; HiDasiy完成签到，获得积分10

7秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

15秒前; 搜集达人上传了应助文件

33秒前; sutharsons的应助被lalala采纳，获得80

35秒前; 汪汪队立大功发布了新的文献求助10

37秒前; 淙淙柔水完成签到，获得积分0

41秒前; MchemG上传了应助文件

44秒前; 天天快乐上传了应助文件

50秒前; 香蕉觅云的应助被科研通管家采纳，获得30

51秒前; 传奇3的应助被科研通管家采纳，获得30

51秒前; 光亮如彤完成签到，获得积分10

51秒前; 琪琪发布了新的文献求助10

53秒前; 琪琪完成签到，获得积分10

1分钟前; 搜集达人的应助被大佬虎采纳，获得10

1分钟前; LjXiong完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI2S的应助被lalala采纳，获得100

1分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

1分钟前; Ava的应助被汪汪队立大功采纳，获得10

1分钟前; iiomee完成签到，获得积分10

1分钟前; 小二郎上传了应助文件

2分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

2分钟前; 科研小南完成签到，获得积分10

2分钟前; 斯文败类上传了应助文件

2分钟前; 小马甲上传了应助文件

2分钟前; ljyyy发布了新的文献求助10

2分钟前; FinMars.完成签到，获得积分10

2分钟前; 魔域发布了新的文献求助10

2分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 深情安青的应助被魔域采纳，获得10

2分钟前; 亓椰iko完成签到，获得积分10

3分钟前; 李昕123完成签到，获得积分10

3分钟前; NexusExplorer上传了应助文件

4分钟前; Kashing完成签到，获得积分10

4分钟前; Rashalin发布了新的文献求助10

4分钟前; 李健的小迷弟上传了应助文件

4分钟前; 星辰大海上传了应助文件

4分钟前; 一区李发布了新的文献求助10

4分钟前; 执着淇发布了新的文献求助10

4分钟前; Ava上传了应助文件

4分钟前