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P-type conductive Ga2O3 epilayers grown on sapphire substrate by phosphorus-ion implantation technology
磷离子注入在蓝宝石衬底上生长的P型导电Ga2O3外延膜
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期刊:Materials Today Advances 作者:Ray−Hua Horng; Xin-Ying Tsai; Fu-Gow Tarntair; Jia-Min Shieh; Shao-Hui Hsu; et al 出版日期:2023-12-01 |
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