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High performance In0.83Ga0.17As SWIR photodiode passivated by Al2O3/SiNx stacks with low-stress SiNx films
Al2O3/SiNx叠层低应力SiNx薄膜钝化高性能In0.83Ga 0.17 As SWIR光电二极管
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光电子学 光电二极管 材料科学 原子层沉积 暗电流 化学气相沉积 沉积(地质) 钝化 感应耦合等离子体 雪崩光电二极管 图层(电子) 光学 纳米技术 光电探测器 等离子体 生物 古生物学 物理 探测器 量子力学 沉积物
网址
DOI
10.1063/1.5090393 doi
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HDJ 在 2024-01-23 22:11:42 发布自上海,悬赏 10 积分
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