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Surface Defect Classification in Silicon Wafer Manufacturing Using Linear-Based Channeling and Rule-Based Binning
基于线性沟道和规则宁滨的硅片表面缺陷分类
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期刊:Journal of Material Sciences & Engineering 作者:Hao Hu; Kari Ullako; Xin Lai; Mingming Chao 出版日期:2021-01-01 |
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