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 Improving the crystal quality of AlN films by nanosecond laser annealing 用纳秒激光退火改善AlN薄膜的晶体质量
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期刊：Journal of manufacturing processes 作者：Yigang Zhou; Jian Zhou; Zhiqiang Tian; Dong Fang; Sheng Liu; et al 出版日期：2022-12-01 |
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