Atomic layer deposition of InN using trimethylindium and ammonia plasma

已完结

文献求助详情

标题	Atomic layer deposition of InN using trimethylindium and ammonia plasma 三甲基铟和氨等离子体原子层沉积InN 相关领域三甲基铟薄膜原子层沉积纤锌矿晶体结构材料科学氮化铟三甲基镓分析化学（期刊） X射线光电子能谱化学气相沉积氮化物图层（电子）化学金属有机气相外延化学工程纳米技术外延锌冶金工程类色谱法
网址	https://doi.org/10.1116/1.5079279
DOI	10.1116/1.5079279 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films 作者：Petro Deminskyi; Polla Rouf; Ivan G. Ivanov; Henrik Pedersen 出版日期：2019-02-26
求助人	55555555 在 2024-07-05 15:16:58 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 兴奋的若菱完成签到，获得积分10

16秒前; 丘比特上传了应助文件

49秒前; zhangxr发布了新的文献求助10

56秒前; 救救小王叭发布了新的文献求助10

56秒前; Lucas的应助被zhangxr采纳，获得10

1分钟前; 等风吹完成签到，获得积分10

1分钟前; 房天川完成签到，获得积分10

1分钟前; 1234354346完成签到，获得积分10

1分钟前; 六等于三二一完成签到，获得积分10

2分钟前; jjjjjjjjjjj完成签到，获得积分10

2分钟前; bkagyin上传了应助文件

2分钟前; jjjjjjjjjjj发布了新的文献求助10

2分钟前; zpli完成签到，获得积分10

2分钟前; 山止川行完成签到，获得积分10

3分钟前; Orange的应助被泡面小猪采纳，获得10

3分钟前; 脑洞疼上传了应助文件

3分钟前; 所所的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; 李爱国的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; 小泉完成签到，获得积分10

3分钟前; 未来可期完成签到，获得积分10

4分钟前; hugo发布了新的文献求助30

4分钟前; Owen的应助被hugo采纳，获得10

4分钟前; 风中汽车完成签到，获得积分10

4分钟前; hugo关闭了hugo的文献求助

4分钟前; Orange上传了应助文件

4分钟前; 泡面小猪发布了新的文献求助10

4分钟前; 领导范儿的应助被gujianhua采纳，获得10

4分钟前; 新奇完成签到，获得积分10

4分钟前; hugo完成签到，获得积分20

5分钟前; 领导范儿上传了应助文件

5分钟前; gujianhua发布了新的文献求助10

5分钟前; 传奇3的应助被直率靖荷采纳，获得10

5分钟前; 华仔的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; 科研通管家关闭了hayk的文献求助

5分钟前; 123完成签到，获得积分10

6分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

6分钟前; 阿菜完成签到，获得积分10

6分钟前; 我是老大上传了应助文件

7分钟前; tim发布了新的文献求助10

7分钟前; tim完成签到，获得积分10

7分钟前