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 用于EUV图案化的新型氧化锌簇交联策略的辐射化学 相关领域
极紫外光刻
物理
光学
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期刊：Science China. Materials 作者：Youming Si; Danhong Zhou; Jun Zhao; Yung-Chow Peng; Pengzhong Chen; et al 出版日期：2024-04-08 |
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