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Effect of Growth Conditions on the Surface Morphology and Defect Density of CS‐PVT‐Grown 3C‐SiC
生长条件对CS-PVT生长3C-SiC表面形貌和缺陷密度的影响
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期刊:Crystal research and technology 作者:Manuel Kollmuß; F. La Via; Peter J. Wellmann 出版日期:2023-05-17 |
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