Impact of Air Exposure on Growth Rate and Electrical Properties of SnO2 Thin Films by Atmospheric Pressure Spatial Atomic Layer Deposition

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标题	Impact of Air Exposure on Growth Rate and Electrical Properties of SnO2 Thin Films by Atmospheric Pressure Spatial Atomic Layer Deposition 空气暴露对常压空间原子层沉积SnO2薄膜生长速率和电学性能的影响相关领域分析化学（期刊）材料科学薄膜化学纳米技术环境化学
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6463/ad01c7
DOI	10.1088/1361-6463/ad01c7 doi
其它	期刊：Journal of Physics D 作者：Haijing Tran; Ngoc Linh Nguyen; Trung Kien Mac; Duc Anh Duong; Thuong Thi Nguyen; et al 出版日期：2023-10-18
求助人	复杂沛白在 2024-06-25 11:26:56 发布自广东，悬赏 10 积分
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