Atomic layer deposition and characterization of Zn-doped Ga2O3 films

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标题	Atomic layer deposition and characterization of Zn-doped Ga2O3 films 掺锌Ga2 O3薄膜的原子层沉积与性能研究相关领域退火（玻璃）无定形固体材料科学镓原子层沉积电介质薄膜分析化学（期刊）沉积（地质）兴奋剂纳米技术光电子学化学工程冶金结晶学化学古生物学工程类生物色谱法沉积物
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-abstract/39/3/032411/10...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？ AI识别 10.1116/6.0000838 doi
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