标题 |
Influence of water diffusion in deposited silicon oxides on direct bonding of hydrophilic surfaces
沉积氧化硅中水扩散对亲水表面直接键合的影响
相关领域
材料科学
阳极连接
直接结合
晶片键合
氧化物
复合材料
硅
热压连接
薄膜
氧化硅
纳米技术
薄脆饼
冶金
图层(电子)
氮化硅
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期刊:Microsystem Technologies 作者:J. Desomberg; Frank Fournel; H. Moriceau; A. Roule; Étienne Barthel; et al 出版日期:2017-08-17 |
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