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标题
Morphological properties of AlN piezoelectric thin films deposited by DC reactive magnetron sputtering
直流反应磁控溅射沉积AlN压电薄膜的形貌特性
相关领域
溅射 薄膜 材料科学 基质（水族馆） 表面粗糙度 溅射沉积 表面光洁度 腔磁控管 压电 复合材料 分析化学（期刊） 光电子学 化学 纳米技术 海洋学 地质学 色谱法
网址
http://dx.doi.org/10.1016/S0040-6090(00)01914-3
DOI
10.1016/S0040-6090(00)01914-3 doi
求助人
风中的夕阳 在 2025-01-23 20:45:36 发布自美国，悬赏 10 积分
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