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 Ablation of fused quartz by multi-wavelength irradiation of vacuum-ultraviolet Raman laser 真空紫外拉曼激光多波长辐照熔融石英的烧蚀
相关领域
材料科学
激光烧蚀
石英
微加工
激光器
紫外线
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辐照
烧蚀
光电子学
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真空紫外
熔融石英
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期刊：Conference on Lasers and Electro-Optics Europe 作者：Koji Sugioka; Satoshi Wada; Hideo Tashiro; K. Toyoda; Y. Ohnuma; et al 出版日期：1994-01-01 |
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