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 Inverted pyramid structure on monocrystalline silicon processed by wet etching after femtosecond laser machining in air and deionized water 飞秒激光在空气和去离子水中湿法刻蚀单晶硅的倒金字塔结构
相关领域
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材料科学
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期刊：Optics and Laser Technology 作者：Qingwei Wang; Peng Yao; Yueming Li; Long Jiang; Jimiao Xu; et al 出版日期：2023-01-01 |
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