Anisotropic deformation of 4H-SiC wafers: insights from nanoindentation tests

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标题	Anisotropic deformation of 4H-SiC wafers: insights from nanoindentation tests 4H-SiC晶片的各向异性变形：纳米压痕试验的启示相关领域材料科学纳米压痕断裂韧性打滑（空气动力学）成核复合材料结晶学热力学化学物理
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6463/ac9535
DOI	10.1088/1361-6463/ac9535 doi
其它	期刊：Journal of Physics D 作者：XiaoShuang Liu; Rong Wang; Junran Zhang; Yunhao Lu; Yiqiang Zhang; et al 出版日期：2022-10-27
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