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标题
Special Section Guest Editorial: Control of Integrated Circuit Patterning Variance, Part 3: Pattern Roughness, Local Uniformity, and Stochastic Defects
特邀社论：集成电路图案化方差的控制，第3部分：图案粗糙度、局部均匀性和随机缺陷
相关领域
章节（排版） 差异（会计） 表面光洁度 专区 控制（管理） 材料科学 计算机科学 数学 工程类 工程物理 人工智能 业务 复合材料 会计 操作系统
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.17.4.041000
AI链接 spiedigitallibrary.orgdoi.org
DOI
10.1117/1.jmm.17.4.041000 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS
作者：John C. Robinson; Tim Brunner; Gian F. Lorusso
出版日期：2018-11-30
求助人
zzydada 在 2025-02-22 17:24:13 发布自安徽，悬赏 20 积分
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