A built-in self-test and self-adjustment method of MEMS pressure sensor

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标题	A built-in self-test and self-adjustment method of MEMS pressure sensor 一种MEMS压力传感器的内置自测自调整方法相关领域微电子机械系统可靠性（半导体）补偿（心理学）内置自检可靠性工程参数统计计算机科学电子工程压力传感器试验方法工程类机械工程材料科学心理学古生物学功率（物理）统计物理数学光电子学量子力学精神分析生物
网址	https://doi.org/10.1016/j.microrel.2022.114668
DOI	10.1016/j.microrel.2022.114668 doi
其它	期刊：Microelectronics Reliability 作者：Manhong Zhu; Jia Li; Weibing Wang; Dapeng Chen 出版日期：2022-08-16
求助人	灵巧的绮菱在 2024-10-08 21:19:04 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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