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标题
Preparation and characterization of TiO2 thin film by thermal oxidation of sputtered Ti film
溅射Ti膜热氧化制备TiO2薄膜及其表征
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网址
DOI
10.1016/j.mssp.2012.05.001 doi
其它 期刊:Materials Science in Semiconductor Processing
作者:Bing Zhou; Xiaohong Jiang; Zhubo Liu; Ruiqi Shen; А.V. Rogachev
出版日期:2012-11-08
求助人
qqq 在 2024-11-22 10:21:57 发布自吉林,悬赏 10 积分
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