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 Role of counter-anion chemistry, free volume, and reaction byproducts in chemically amplified resists 反阴离子化学、自由体积和反应副产物在化学放大抗蚀剂中的作用
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期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology 作者：Christopher M. Bottoms; Grant E. Bauman; Gila E. Stein; Manolis Doxastakis 出版日期：2023-08-30 |
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