Chemical lift‐off process for nitride LEDs from an Eco‐GaN template using an AlN/strip‐patterned‐SiO2 sacrificial layer

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标题	Chemical lift‐off process for nitride LEDs from an Eco‐GaN template using an AlN/strip‐patterned‐SiO2 sacrificial layer 使用AlN/带状图案化SiO2牺牲层从生态GaN模板化学剥离氮化物LED的工艺相关领域材料科学光电子学发光二极管图层（电子）氮化物基质（水族馆）氮化镓蚀刻（微加工）外延蓝宝石二极管制作纳米技术激光器光学海洋学地质学医学物理替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1002/pssa.201600657
DOI	10.1002/pssa.201600657 doi
其它	期刊：physica status solidi (a) 作者：Ray‐Hua Horng; Hsu‐Hung Hsueh; Sin‐Liang Ou; Chi‐Tsung Tsai; Tsung‐Yen Tsai; et al 出版日期：2017-02-20
求助人	yongfeng 在 2025-01-03 20:09:54 发布自陕西，悬赏 10 积分
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