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 Theoretical and Experimental Analysis on Magnetron Sputtering Film Thickness Distribution 磁控溅射薄膜厚度分布的理论与实验分析
相关领域
材料科学
溅射沉积
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溅射
半径
腔磁控管
复合材料
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薄膜
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期刊：Advanced materials research 作者：Ya Han; Shao Ze Wang; Qing‐Wen Wang; Jin Xin Wang; Ming Luo 出版日期：2012-01-01 |
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