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 Preparation of composite micro/nano structure on the silicon surface by reactive ion etching: Enhanced anti-reflective and hydrophobic properties 反应离子刻蚀在硅表面制备复合微/纳米结构：增强的减反射和疏水性能
相关领域
材料科学
反应离子刻蚀
硅
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期刊：Superlattices and Microstructures 作者：Yu Zeng; Xiaoli Fan; Jiajia Chen; Siyu He; Zao Yi; et al 出版日期：2018-05-01 |
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