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 Prefabrication design, theoretical framework and simulation demonstration of a meander-shaped MEMS piezoresistive pressure sensor implanted on silicon substrate circular diaphragm for enhancement of key performance parameters utilized for low-pressure applications 用于提高低压应用关键性能参数的硅衬底圆膜片弯曲型MEMS压阻压力传感器的预制设计、理论框架和仿真演示
相关领域
微电子机械系统
振膜（声学）
材料科学
基质（水族馆）
硅
压阻效应
光电子学
电气工程
工程类
海洋学
地质学
扬声器
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期刊：Journal of Computational Electronics 作者：Dadasikandar Kanekal; Sumit Kumar Jindal 出版日期：2024-02-18 |
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