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 Ultrasonic vibration assisted double disc chemo-magnetorheological finishing of silicon wafer: Experimental investigations and optimization for surface roughness 超声振动辅助双圆盘化学磁流变精加工硅片表面粗糙度的实验研究与优化
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期刊：Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part B: Journal of Engineering Manufacture 作者：Mayank Srivastava; Gurminder Singh; Pulak M. Pandey 出版日期：2023-06-10 |
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