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 Study on P-a-Si:H properties of N-type heterogeneous junction solar cells manufactured by large-area parallel plate PECVD machine 大面积平行板PECVD法制备N型异质结太阳电池P-a-Si：H性能研究
相关领域
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
光电子学
硅
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| 其它 |
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Xinpu Li; Y. L. Li; Lei Hu; Chunlin Guo; Jiawang Chen; et al 出版日期：2024-03-01 |
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