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 Photodefinable PDMS thin films for microfabrication applications 用于微加工应用的光定义PDMS薄膜
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微加工
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光引发剂
二苯甲酮
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薄膜
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Preetha Jothimuthu; Andrew Carroll; Ali Asgar S. Bhagat; Lin Gui; James E. Mark; et al 出版日期：2009-03-26 |
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