Data-Driven Approaches for Process Simulation and Optical Proximity Correction

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标题	Data-Driven Approaches for Process Simulation and Optical Proximity Correction 过程模拟和光学邻近校正的数据驱动方法相关领域光学接近校正可制造性设计计算机科学过程（计算）平版印刷术进程窗口十字线计算机工程半导体器件制造推论薄脆饼电子工程人工智能工程类机械工程电气工程操作系统艺术视觉艺术
网址	https://doi.org/10.1145/3566097.3568362
DOI	10.1145/3566097.3568362 doi
其它	期刊：Proceedings of the 28th Asia and South Pacific Design Automation Conference 作者：Hao-Chiang Shao; Chia‐Wen Lin; Shao-Yun Fang 出版日期：2023-01-16
求助人	勤劳怜寒在 2024-11-15 15:49:37 发布自四川，悬赏 10 积分
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