Room-temperature atomic layer deposition of ZrO2 using tetrakis(ethylmethylamino)zirconium and plasma-excited humidified argon

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标题	Room-temperature atomic layer deposition of ZrO2 using tetrakis(ethylmethylamino)zirconium and plasma-excited humidified argon 四（乙基甲氨基）锆和等离子体激发增湿氩室温原子层沉积ZrO2 相关领域锆氩吸附分析化学（期刊）激发态原子层沉积化学吸收（声学）朗缪尔红外光谱学光谱学吸收光谱法氧化剂无机化学材料科学图层（电子）物理化学原子物理学有机化学复合材料物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2016.06.122
DOI	10.1016/j.apsusc.2016.06.122 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Kensaku Kanomata; Kentaro Tokoro; T. Imai; P. Pungboon Pansila; Masashi Miura; et al 出版日期：2016-06-23
求助人	姜糊在 2024-11-04 20:29:25 发布自广东，悬赏 10 积分
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