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 Chemically-amplified backbone scission (CABS) resist for EUV lithography 用于EUV光刻的化学放大骨架断裂（CABS）抗蚀剂
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期刊： 作者：Theodoros Manouras; Dimitrios Kazazis; Yasin Ekinci 出版日期：2021-03-31 |
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