Enhanced mechanical and electrochemical properties of TiNx thin films prepared by magnetron sputtering with an anode layer ion source

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标题	Enhanced mechanical and electrochemical properties of TiNx thin films prepared by magnetron sputtering with an anode layer ion source 阳极层离子源磁控溅射增强TiNx薄膜的力学和电化学性能相关领域材料科学残余应力溅射沉积微观结构复合材料溅射阳极薄膜冶金纳米技术电极化学物理化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.07.076
DOI	10.1016/j.surfcoat.2018.07.076 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Abdul Mateen Qasim; Ali Farhat; Hao Wu; Ricky K.Y. Fu; Shu Xiao; et al 出版日期：2018-07-27
求助人	薛定谔的科研人在 2025-01-08 13:59:18 发布自山东，悬赏 10 积分
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