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High-Performance SAW Resonators Based on Single-crystalline a-Plane AlN Thin Films on Sapphire Substrates
基于蓝宝石衬底上单晶a面AlN薄膜的高性能声表面波谐振器
相关领域
谐振器
薄膜
蓝宝石
材料科学
温度系数
声表面波
分析化学(期刊)
物理
光电子学
光学
复合材料
化学
纳米技术
有机化学
激光器
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期刊:2017 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) 作者:Xiaoli Fang; Ye Yuan; Shibin Zhang; Pengcheng Zheng; Yanda Ji; et al 出版日期:2023-09-03 |
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