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 High-Q silicon nitride few-mode microdisk resonators 高Q氮化硅少模微盘谐振器
相关领域
谐振器
物理
氮化硅
蚀刻（微加工）
共振（粒子物理）
硅
光电子学
拓扑（电路）
材料科学
电气工程
纳米技术
粒子物理学
工程类
图层（电子）
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期刊：IEEE Photonics Technology Letters 作者：Yuan Chen; Zhiqiang Fan; Yang Yang; Yue Lin; Di Jiang; et al 出版日期：2024-02-01 |
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