High-k Thin Films by Atomic Layer Deposition for Energy and Information Storage

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标题	High-k Thin Films by Atomic Layer Deposition for Energy and Information Storage 用于能量和信息存储的原子层沉积高k薄膜相关领域原子层沉积薄膜材料科学结晶度电介质光电子学钛酸锶纳米技术复合材料
网址	https://doi.org/10.7736/kspe.2018.35.12.1131
DOI	10.7736/kspe.2018.35.12.1131 doi
其它	期刊：Journal of the Korean Society for Precision Engineering 作者：Jihwan An 出版日期：2018-12-01
求助人	lyx 在 2024-12-27 13:58:40 发布自江苏，悬赏 10 积分
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