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 Electromechanical Behavior of Al/Al2O3 Multilayers on Flexible Substrates: Insights from In Situ Film Stress and Resistance Measurements 柔性衬底上Al/Al2O3多层膜的机电行为：原位薄膜应力和电阻测量的启示
相关领域
材料科学
无定形固体
薄膜
复合材料
溅射沉积
氧化物
透射电子显微镜
溅射
图层（电子）
薄板电阻
纳米技术
冶金
结晶学
化学
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期刊：Advanced Engineering Materials 作者：Barbara Pütz; Thomas Edward James Edwards; Emese Huszár; Patric A. Gruber; Kevin‐P. Gradwohl; et al 出版日期：2022-11-15 |
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