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 Spectrometry of 0.46 and 13.56MHz Ar∕SF6 inductive plasma discharges 0.46和13.56 MHz Ar/SF6感应等离子体放电的光谱测定
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：M. Tuszewski; W. K. Scarborough; R. R. White 出版日期：2004-08-02 |
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