Optimization of Fabrication Process for SiON/SiOx Films Applicable as Optical Waveguides

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标题	Optimization of Fabrication Process for SiON/SiOx Films Applicable as Optical Waveguides 相关领域制作波导管硅图层（电子）薄膜基质（水族馆）
网址	https://doi.org/10.3390/coatings11050574
DOI	10.3390/coatings11050574 doi
其它	期刊：Coatings 作者：Ľuboš Podlucký; Andrej Vincze; Soňa Kováčová; Juraj Chlpík; Jaroslav Kováč; František Uherek 出版日期：2021
求助人	韦涔在 2021-09-08 10:46:20 发布，悬赏 10 积分
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