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标题
Review on the various strategies adopted for the polishing of silicon wafer — A chemical perspective
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研磨 薄脆饼 抛光 磨料 微电子 研磨 化学机械平面化 材料科学 机械工程 工程物理 工艺工程 纳米技术 工程类 冶金
网址
DOI
10.1016/j.matpr.2022.02.300 doi
其它 期刊:Materials Today: Proceedings
作者:Mayank Srivastava; Jasvinder Singh; Dipesh Kumar Mishra; Ravinder Pal Singh
出版日期:2022
求助人
泊松 在 2022-10-02 14:21:00 发布自陕西,悬赏 10 积分
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