标题 |
[高分] TOPOGRAPHY SIMULATION OF INTERMETAL DIELECTRIC DEPOSITION AND INTERCONNECTION METAL DEPOSITION PROCESSES
相关领域
材料科学
沉积(地质)
电介质
原子层沉积
互连
光电子学
图层(电子)
复合材料
基质(水族馆)
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网址 |
AI链接 ac.jp |
DOI |
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其它 |
Author: Li. J Degree: Ph.D. DegreeYear: 1996 Institute: Stanford University |
求助人 |
研友_84mPRL 在
2020-05-11 18:10:29 发布,悬赏 50 积分
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